GUD系列电动真空球阀技术规范

GUD系列电动真空球阀技术规范

电动真空球阀是在1.3×10-7～6×105Pa的真空系统中用来开启或隔断气流的气动阀门，广泛适用各类气体，液体等正、负压力管道系统，符合GMP标准。电动真空球阀是一种专为真空系统设计的阀门，主要用于接通或切断管路中的介质流动。以下是其详细介绍：

• 结构组成：由电动执行器和球阀本体组成。电动执行器包括电动机、限位开关、控制电路等，球阀本体由阀体、阀球、密封圈等部件组成。

• 工作原理：电动执行器通过外接电源的切换或外部输入信号，控制电动机的启停和正反转，电动机驱动阀球旋转，从而实现介质通道的开启或关闭。

• 结构特点：阀门为直通式，靠球面密封，既能用在真空状态下，也能在低压状态下使用，并可以任意位置安装。

• 连接方式：主要有法兰连接和螺纹连接两种。法兰连接适用于各种压力和温度条件，螺纹连接通常应用于小型阀门。

• 性能优势：密封结构设计独特，漏率可达到＜1×10-10Pa.M3/S；开关扭矩小，工作稳定、可靠；结构紧凑，重量轻；既能适用高真空，又能适用一定的正压力。

• 应用领域：广泛应用于真空、乳制品、酒业、生物工程、食品、制药、饮料、化妆品及化工等领域。

电动高真空球阀是集成电动执行机构与真空密封结构的旋转式控制设备，广泛应用于半导体、航天、医药等高真空系统自控场景。依托进口真空密封工艺与低泄放电动驱动技术，通过电机驱动球体旋转实现流道通断，适配 1×10⁻¹Pa-1×10⁻⁸Pa 真空度、-40℃-300℃温度及 DN10-DN200 口径，泄漏率≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s，具备真空密封可靠、操作无油污染、自动化调控特性，是高真空管路核心控制部件。

GUD系列电动真空球阀技术规范电动高真空球阀核心定义

采用无磁不锈钢阀体、抛光球体阀芯、金属波纹管密封组件及无油电动执行机构，安装于高真空管路中通过执行机构接收电信号，驱动阀杆带动球体旋转 90°，改变流道通断状态，实现真空系统介质（气体 / 蒸汽）自动化调控且无泄漏污染的阀门装置。具备高真空密封、无油洁净、电动精准控制特性，实现 “真空系统压力稳定、介质无泄漏逃逸、管路自动化运行" 三重作用。

电动高真空球阀工作原理

核心由真空阀体、抛光球体、波纹管密封座及无油电动执行机构组成：执行机构经真空法兰安装于阀体顶部，接收 4-20mA 或开关量信号后，通过无油减速机构将转矩传递至波纹管密封阀杆；阀杆带动球体旋转，全开时球体通孔与流道对齐，介质流通；关闭时球面压紧预紧式金属密封座切断流道。核心设计：采用金属波纹管实现阀杆动密封（避免填料泄漏）；球体与密封座表面抛光至 Ra≤0.2μm 增强密封性；执行机构内置无油润滑结构，防止油蒸气污染真空系统。

电动高真空球阀主要应用领域

半导体制造：芯片刻蚀设备，控制高真空（1×10⁻⁵Pa）反应气体通断；薄膜沉积系统，调节真空腔室进气流量。

航天军工：卫星真空测试舱，控制舱内真空度维持；火箭发动机燃料系统，切断高真空环境下推进剂输送。

医药化工：真空冷冻干燥机，调节药品干燥腔真空度；无菌原料药生产，控制高真空蒸馏系统介质流道。

科研实验：粒子加速器真空系统，切断超高真空（1×10⁻⁸Pa）管路；材料表面科学实验，调节真空镀膜气体流量。

电动高真空球阀关键技术参数

公称通径：DN10-DN200mm；2. 真空度范围：1×10⁻¹Pa-1×10⁻⁸Pa；3. 介质温度：-40℃-300℃；4. 阀体材质：316L 无磁不锈钢、蒙乃尔合金；5. 阀芯类型：O 型（快开）；6. 密封结构：金属波纹管 + 司太立合金密封座；7. 调节精度：≤±1% FS；8. 泄漏率：≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s（He 质谱检漏）；9. 执行机构：输出力矩 50-2000N・m，防护等级 IP67，无油润滑设计；10. 表面粗糙度：球体与密封座 Ra≤0.2μm。

电动高真空球阀与相关设备的比较

与电动常温球阀：高真空型可实现 1×10⁻⁸Pa 超高真空密封，采用波纹管动密封，无油污染；常温型真空度仅达 1×10⁻¹Pa，填料密封易泄漏，成本低 60%。

与气动高真空球阀：电动型无需气源，控制距离远（可达 1000m），适配无压缩空气的洁净实验室；气动型响应快 30%，但需配无油气源处理装置，维护成本高 40%。

与国产电动高真空球阀：进口设备泄漏率低 100 倍，密封面抛光精度高，波纹管寿命长 8 倍，适配 1×10⁻⁸Pa 超高真空场景。

电动高真空球阀选型方法与注意事项

选型：按真空度选密封（1×10⁻⁷Pa 以上选金属硬密封）；介质选材质（腐蚀选蒙乃尔合金）；口径按真空流量 conductance 值计算（预留 20% 余量）。

注意：符合 GB/T 12221、ISO 1609 标准；安装前用无水乙醇清洁密封面；严禁接触油污（防真空污染）；定期用氦质谱仪检测泄漏率。

电动高真空球阀维护要点（拓展）

每日巡检密封泄漏与执行机构运行状态；每月清洁阀体内部与密封面；每 3 个月检查波纹管密封性；每 6 个月检测密封座磨损；每年校验真空度与调节精度，更换老化波纹管。

GUD系列电动真空球阀技术规范主要性能：
 漏率： ≤1.3×10-9Pa.M3/S；
 压力范围：1.3×10-7Pa～6×105pa；
 工作温度：-30℃～+232℃；
 工作电压：220V；
 工作介质：水、蒸气、酸、碱；
 安装位置：任意；
 寿命：≥20000次。
原理：采用电动执行器驱动阀杆转 90o达到开关目的。

GUD系列电动真空球阀的性能特点：
 密封结构设计独特，漏率可达到＜1×10-10Pa.M3/S,改变了球阀不能满足高真空、超高真空的现状；
 开关扭矩小，配置电动执行器小，工作稳定、可靠；
 结构紧凑，重量轻，外形简洁、美观；
 该阀既能适用高真空，又能适用一定的正压力下使用；
由于球阀全通导，又能达到超高真空要求，所以也能适用于加速器真空系统。
主要零件材料：
阀体　　304、316L； 球体　　316L；
密封件　增强聚四氟乙烯

GUD系列电动真空球阀技术规范连接尺寸
快卸法兰连接尺寸 (标准：GB4982)

卫生级法兰连接尺寸 (标准：ISO-2852)

活套法兰连接尺寸 (标准：GB6070)

电动真空球阀它有90度的旋转姿态，阀体为球塞式，有环形埋孔或管道根据其中心线。

电动真空截止阀的主要特点是结构紧凑、密封性能可靠、结构简单、维护方便。突出面和球体经常封闭，不易被媒介磨损，易于使用和维护。阀门是管道中的关键用途，用于通过电动阀门断开、调度和改变媒介的流体方向。实际操作只需旋转90度以上，旋转扭矩小即可紧密闭合。

电动真空球阀电源开关、应急切断阀使用，闸阀在出厂后应按照以下机电工程装配和维修

电动球阀组装和维护的主要保证如下:

1、只有在排放前后球阀周围的工作压力，才能对球阀进行拆卸和溶解的实际操作。

2、重新组装球阀油路板时，必须对称、逐渐、均匀地拧紧地脚螺栓。

3、清洗剂应与球阀里的橡胶企业产品、塑件、金属件及工作中工作介质（比如中国天然气）等均相溶。工作中存在介质为天然气时，可以通过用车用汽油（GB484-89）清洗以及金属进行零件。非金属复合材料主要零件用纯水或乙醇溶液清洗。

精制出的各个零件可用浸泡的方法清洗。所有附着在边界层上的植物油、污渍、积聚物、污垢等都应在清洗过程中清除。

如果仍有未溶解的非金属零件，可以使用预先浸有清洁剂（防止化学纤维脱落并粘附在零件上）的干净、精细清洁的亚麻布进行清洁。

GUD系列电动真空球阀技术规范电动球阀正确安装方法

正确安装电动球阀需要按照以下步骤进行：

一、确定球阀的安装位置：

根据系统需求和管道布置，确定球阀的安装位置。

二、准备工具和材料：

准备好所需的工具和材料，包括螺丝刀、扳手、螺栓、垫圈等。

三、清洁管道口：

清洁安装位置上的管道口，确保没有杂物和污垢。

四、安装球阀：

将球阀的法兰与管道的法兰对齐，用螺栓和垫圈将球阀固定在管道上。注意要均匀拧紧螺栓，以确保安装牢固。

五、连接电动执行器：

将电动执行器与球阀连接。根据球阀的型号和电动执行器的要求，正确连接电源和控制线。

六、调试和测试：

完成安装后，对球阀进行调试和测试。通过操作电动执行器，测试球阀的开关状态，确保正常工作。

七、检测测试：

在球阀安装完成后，进行一次全面的测试。确保球阀的开关状态正常，并检查是否有泄漏。

八、理顺电缆和控制线：

将电缆和控制线整理好，确保没有交叉和缠绕。

以上是电动球阀正确安装的方法，确保每一步都正确操作，以确保球阀正常运行。在安装过程中，如有不确定的地方，最好咨询人士或根据球阀的安装指南进行操作。